1、 X向橫梁：采用精密斜梁技術。
2、Y向導軌：采用的直接加工在工作臺上的整體下燕尾槽定位結構。
3、導軌方式：采用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成的四面環(huán)抱式靜壓氣浮導軌。
4、驅動系統(tǒng)：采用本產(chǎn)高性能DC直流柔性同步齒形帶傳動裝置，各軸均有限位和電子控制，傳動更快捷、運動性能更佳。
5、Z向主軸：可調(diào)節(jié)的氣動平衡裝置，提高了Z軸的定位精度。
6、控制系統(tǒng)：采用進口的雙計算機三座標專用控制系統(tǒng)。
7、機器系統(tǒng)：采用計算機輔助3D誤差修正技術（CAA），保證系統(tǒng)的長期的穩(wěn)定性和高精度。
8、測量軟件：采用功能強大的3D-DMIS測量軟件包，具有完善的測量功能和聯(lián)機功能。
